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聚焦|2021广州陶瓷展咸阳院非氧化物所介绍

放大字体  缩小字体 发布日期:2021-7-28  浏览次数:290

     咸阳陶瓷研究设计院有限公司非氧化物研究所主要从事碳化硅陶瓷、C/C及C/SiC陶瓷基复合材料的制备科学与新工艺研究。

一、主要研究方向:

    集成电路制造装超精密碳化硅陶瓷零部件

    光学系统用碳化硅陶瓷反射镜

    高温主动冷却用定向直孔发汗陶瓷

    防弹梯度碳化硅陶瓷装甲

    高温耐烧蚀C/C及C/SiC陶瓷基复合材料抗氧化涂层

二、材料制备工艺研究

  大尺寸、复杂形状陶近净尺寸凝胶注模成型制备技术

    特种陶瓷3D打印制备技术

    水基冷冻浇注成型技术

    室温冷凝成型技术

    C/C及C/SiC复合材料PIP-CVI、RMI制备技术

    大面积、高致密、低缺陷SiC膜层CVD制备技术

    本单位生产碳化硅陶瓷手臂,碳化硅陶瓷托盘、碳化硅真空吸盘等高精密部件,用于IC制造行业的硅片传输及关键制程用晶圆的承载,为IC制造业提供技术支撑。

     碳化硅陶瓷材料具有低膨胀、高导热,高弹性模量等特点,本单位生产的真空吸盘采用中空、不对称薄板结构设计,产品具有高稳定性、高轻量化及极低的晶圆接触面积等特点;多孔吸盘可调整孔隙结构及孔隙率满足不同工艺要求,产品具有良好的耐化学腐蚀性,目前真空吸盘及多孔吸盘已经应用于IC制造行业的各个环节。

 


 
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